Excimer這個名詞是由Excited-Dimer兩個字合起來，原意是「被激發的兩個分 子」。Dimer所指的就是鈍氣和鹵素兩種元素。讓這兩種元素短暫性的結合，於 解離時會釋放出不同波長的紫外光。例如Argon-Fluoride（氬氟）釋出193nm的 紫外光、Krypton-Fluoride（氪氟）是248nm、Xenon-Chloride（氙氯）是308 nm。雷射有多種不同的作用，而準分子雷射進行的是光化作用。所謂光化作用， 就是組織受到遠紫外光雷射作用時，會斷裂分子之結合鍵，將組織直接分離成揮 發性的碎片而消散無蹤，對周圍的組織則沒有影響。波長超過200nm的紫外光雷 射雖然也可以「蒸發」組織，但其熱效應會增高，造成周圍組織的變化，因此不 適合用來做精密切割。
193nm的氬氟準分子雷射有許多特質，因此適合使用於角膜手術。每個193nm的 光子具有高達6.4ev的能量，這個能量遠超過結合分子的碳和胜鍵的結合能量3.5 ev，因此光子可以打斷分子間的結合鍵，將組織解離成揮發性的碎片。此波長的 雷射光的吸收範圍極窄，大約介於3.7至3.9um之間，也就是超過這個範圍的組織 就不會吸收到雷射光。每一發雷射可以切削0.20至0.25um厚度的生物組織，而且 每次之一致性良好，不會有忽深忽淺的情形產生，因此切割深度和雷射發射數目 成正比。由於雷射的整個脈衝只有10至20微秒，因此其熱擴散效應非常的小，周 邊組織幾無熱或燃燒現象，根據實際研究顯示，約只有0.3至0.8um的組織會受到 傷害。
氬氟準分子雷射發射193nm高能量遠紫外光，經由光學傳遞系統，將雷射傳送 到角膜上，藉由電腦可精確的控制切除範圍的大小、形狀、深度。因此可以用來 做角膜表層瘢痕的切除、不規則角膜表面磨平，更可以利用不同的切削方式，使 用於近視、遠視和散光的矯正。例如中間部份削薄，可以達成凹透鏡的效果，可 以矯正近視；而周邊削薄，中央保留，則可以造成凸透鏡般的效果，可以矯正遠 視；而橢圓形的切割，則可以矯正散光。
準分子雷射屈光性角膜切除術是當今屈光手術中最高科技的手術，能有效且安 全的進行中低度近視的矯治，這項手術將成為屈光不正又不想戴眼鏡者的一個新 選擇。